|
Рефераты Главная Краткое содержаниепроизведений Архитектура Астрономия Банковское делои кредитование Безопасностьжизнедеятельности Биографии Биология Биржевое дело Бухгалтерия и аудит Военное дело География Геодезия Геология Гражданская оборона Животные Здоровье Земельное право Иностранные языкилингвистика Искусство Историческая личность История История отечественногогосударства и права История политичискихучений История техники Компьютерные сети Компьютеры ЭВМ Криминалистика икриминология Культурология Литература Литература языковедение Маркетинг товароведениереклама Математика Материаловедение Медицина Медицина здоровье отдых Менеджмент (теорияуправления и организации) Металлургия Москвоведение Музыка Наука и техника Нотариат Общениеэтика семья брак Педагогика Право Программированиебазы данных Программное обеспечение Промышленностьсельское хозяйство Психология Радиоэлектроникакомпьютеры и перифирийные устройства Реклама Религия Сексология Социология Теория государства и права Технология Физика Физкультура и спорт Философия Финансовое право Химия - рефераты Хозяйственное право Ценный бумаги Экологическое право Экология Экономика Экономикапредпринимательство Юридическая психология |
Расчет характеристик канала вывода СИ синхротронного излученияОсновные свойства синхротронного излучения. Синхротронное излучение (СИ) испускается заряженными частицами (электронами, протонами, позитронами), движущимися с релятивистскими скоростями по искривленным траекториям. Генерация СИ обусловлена наличием у частицы центростремительного ускорения. Предсказанное в конце прошлого века и открытое почти 50 лет назад (1945г.) СИ рассматривалось вначале как “помеха” в работе циклических ускорителей - синхротронов. Только в последние 10¼15 лет СИ привлекло внимание исследователей исключительным богатством своих специфических свойств и возможностью их применения. Структура накопителя электронов. ПМ-поворотные магниты; В-магнитное поле; Р-вектор поляризации фотонов, излучаемых в плоскости орбиты электронов; Щ-щель канала вывода, ограничивающая ширину пучка СИ по горизонтали. Си обладает следующими уникальными свойствами: 1. СИ - излучение с исключительно высокой коллимацией пучка. Пучок СИ испускается электроном по касательной к траектории и имеет угловую расходимость y»g-1, где g - релятивистский фактор (отношение энергии электронов Е в накопителе к энергии покоя электрона Е0=0.511МэВ); для типичных значений Е»1ГэВ имеем g»103 и y»1мра¶. 2. СИ обладает широким, непрерывным, легко перестраиваемым спектром, перекрывающим практически весь рентгеновский диапазон и область ультрафиолетового излучения (0.1¼100нм). Для описания спектральных свойств СИ вводится понятие критической длины волны lс. Это длина волны, которая делит энергетический спектр СИ на две равные части (суммарная энергия излучаемых фотонов с длинами волн меньше lс равна суммарной энергии фотонов с длинами волн больше lс). 3. СИ обладает очень высокой интенсивностью. Интенсивность СИ в наиболее важном для исследований и технологии рентгеновском диапазоне более чем на пять порядков превышает интенсивность рентгеновских трубок. 4.СИ обладает естественной поляризацией: строго линейной на оси пучка (вектор электрического поля лежит в плоскости орбиты электронов) и строго циркулярной на его периферии. Поляризация СИ играет важную роль во многих прецизионных методах исследования материалов и структур микроэлектроники. Перечисленные выше уникальные свойства синхротронного излучения позволяют поднять на новый качественный уровень субмикронную микротехнологию и аналитические методы диагностики субмикронных функциональных структур. Контраст в системах экспонирования с применением синхротронного излучения. Рентгенолитография с применением синхротронного излучения - это многофакторный технологический процесс, в котором важную роль играют параметры многих компонентов литографической системы: источника излучения, канала вывода, рентгеношаблона, рентгенорезиста. Главный фактор, определяющий потенциальные возможности того или иного литографического метода в микротехнологии СБИС - разрешение или минимальный размер надежно воспроизводимого в резисте элемента рентгеношаблона. В рентгенолитографии разрешение определяется, с одной стороны, волновой природой рентгеновского излучения (дифракционные искажения), с другой стороны, нелокальным характером формирования реального скрытого изображения (генерация фото- и оже- электронов рентгеновскими фотонами и вторичное экспонирование резиста этими электронами). Кроме того, реальное технологическое разрешение очень сильно зависит от процесса проявления полученного скрытого изображения. Для оценки эффективности работы рентгенолитографической системы экспонирования в той или иной области спектра нужно учитывать не только спектральную эффективность рентгенорезиста, но и рентгеновскую прозрачность, то есть оптические характеристики литографического канала вывода СИ. Поэтому в системах экспонирования с применением рентгеновского излучения (например, в рентгенолитографических системах экспонирования) одним из важных параметров является контраст получаемого рентгеновского изображения (например контраст скрытого изображения в рентгенорезисте). Схема рентгенографической системы экспонирования в пучках СИ. 1-вакуумное окно; 2-мембрана рентгеношаблона; 3-маска; 4-резист; 5-рабочая пластина. Московский Государственный Институт Электронной Техники технический университет Кафедра Субмикронной технологии Курсовая работа Расчет оптических характеристик канала вывода СИ Выполнил студент гр. МТ-42 Гаврилов А. В. Принял Матвеев В. М. Москва 1996г. .MCD 30001 1 74 .CMD PLOTFORMAT 0 0 1 0 0 0 0 1 0 0 0 1 0 0 NO-TRACE-STRING 0 2 1 0 NO-TRACE-STRING 0 3 2 0 NO-TRACE-STRING 0 4 3 0 NO-TRACE-STRING 0 1 4 0 NO-TRACE-STRING 0 2 5 0 NO-TRACE-STRING 0 3 6 0 NO-TRACE-STRING 0 4 0 0 NO-TRACE-STRING 0 1 1 0 NO-TRACE-STRING 0 2 2 0 NO-TRACE-STRING 0 3 3 0 NO-TRACE-STRING 0 4 4 0 NO-TRACE-STRING 0 1 5 0 NO-TRACE-STRING 0 2 6 0 NO-TRACE-STRING 0 3 0 0 NO-TRACE-STRING 0 4 1 0 NO-TRACE-STRING 0 1 21 15 .CMD FORMAT rd=d ct=10 im=i et=3 zt=15 pr=5 ¬бб ¤«Ё ўpҐ¬п §ап¤ .CMD SET ORIGIN 1 .CMD SET TOL 0.000100000000000 .CMD SET PRNCOLWIDTH 8 .CMD SET PRNPRECISION 4 .CMD PRINT_SETUP 1.000000 0 .CMD DEFINE_FONTSTYLE_NAME fontID=0 name=Variables .CMD DEFINE_FONTSTYLE_NAME fontID=1 name=Constants .CMD DEFINE_FONTSTYLE_NAME fontID=2 name=Text .CMD DEFINE_FONTSTYLE_NAME fontID=3 name=Greek^Variables .CMD DEFINE_FONTSTYLE_NAME fontID=4 name=‡аголовок .CMD DEFINE_FONTSTYLE_NAME fontID=5 name=User^2 .CMD DEFINE_FONTSTYLE_NAME fontID=6 name=User^3 .CMD DEFINE_FONTSTYLE_NAME fontID=7 name=User^4 .CMD DEFINE_FONTSTYLE_NAME fontID=8 name=User^5 .CMD DEFINE_FONTSTYLE_NAME fontID=9 name=User^6 .CMD DEFINE_FONTSTYLE fontID=0 family=Times^New^Roman points=12 bold=0 italic=0 underline=0 .CMD DEFINE_FONTSTYLE fontID=1 family=Tms^Rmn points=12 bold=0 italic=0 underline=0 .CMD DEFINE_FONTSTYLE fontID=2 family=Times^New^Roman^Cyr points=12 bold=0 italic=1 underline=0 .CMD DEFINE_FONTSTYLE fontID=3 family=Symbol points=12 bold=0 italic=0 underline=0 .CMD DEFINE_FONTSTYLE fontID=4 family=Arial points=20 bold=1 italic=1 underline=0 .CMD DEFINE_FONTSTYLE fontID=5 family=Courier points=10 bold=0 italic=0 underline=0 .CMD DEFINE_FONTSTYLE fontID=6 family=System points=10 bold=0 italic=0 underline=0 .CMD DEFINE_FONTSTYLE fontID=7 family=Script points=10 bold=0 italic=0 underline=0 .CMD DEFINE_FONTSTYLE fontID=8 family=Terminal points=0 bold=0 italic=0 underline=0 .CMD DEFINE_FONTSTYLE fontID=9 family=Modern points=10 bold=0 italic=0 underline=0 .CMD UNITS U=1 .TXT 4 1 0 0 C b32000,584,103 {\rtf1\ansi \deff1 {\fonttbl {\f0\fnil Arial Cyr;} {\f1\fnil Times New Roman Cyr;} } {\plain {}{\f0 \fs40 \b \i \ulnone ђасзев опвизеские еаракверисвик канала\par влвода ‘€}{}} } .TXT 9 0 0 0 C b32000,584,95 {\rtf1\ansi \deff1 {\fonttbl {\f0\fnil Arial Cyr;} {\f1\fnil Times New Roman Cyr;} } {\plain {}{ }{}{\f1 \fs24 \b \i \ul сеоднле даннле.}{}} } .TXT 4 0 0 0 C a242,584,39 {\rtf1\ansi \deff1 {\fonttbl {\f0\fnil Arial Cyr;} {\f1\fnil Times New Roman Cyr;} } {\plain {}{ќнергип нлеквронов в накопивеле:}{}} } .EQN 0 56 0 0 E:1.6 .TXT 0 10 0 0 C a28,360,10 {\rtf1\ansi \deff1 {\fonttbl {\f0\fnil Arial Cyr;} {\f1\fnil Times New Roman Cyr;} } {\plain {}{ѓн‚}{}} } .TXT 3 -66 0 0 C a156,584,26 {\rtf1\ansi \deff1 {\fonttbl {\f0\fnil Arial Cyr;} {\f1\fnil Times New Roman Cyr;} } {\plain {}{Њагнивнап индгкжип:}{}} } .EQN 0 56 0 0 B:0.6 .TXT 0 10 0 0 C a29,344,9 {\rtf1\ansi \deff1 {\fonttbl {\f0\fnil Arial Cyr;} {\f1\fnil Times New Roman Cyr;} } {\plain {}{’л}{}} } .TXT 3 -66 0 0 C a323,584,30 {\rtf1\ansi \deff1 {\fonttbl {\f0\fnil Arial Cyr;} {\f1\fnil Times New Roman Cyr;} } {\plain {}{„лина канала влвода ‘€:}{}} } .EQN 0 57 0 0 L:10 .TXT 0 9 0 0 C a26,320,8 {\rtf1\ansi \deff1 {\fonttbl {\f0\fnil Arial Cyr;} {\f1\fnil Times New Roman Cyr;} } {\plain {}{м}{}} } .TXT 4 -66 0 0 C a160,584,26 {\rtf1\ansi \deff1 {\fonttbl {\f0\fnil Arial Cyr;} {\f1\fnil Times New Roman Cyr;} } {\plain {}{’олйина окна из Be:}{}} } .EQN 0 50 0 0 h.Be:200*(10)^(-4) .TXT 0 16 0 0 C a17,296,9 {\rtf1\ansi \deff1 {\fonttbl {\f0\fnil Arial Cyr;} {\f1\fnil Times New Roman Cyr;} } {\plain {}{см}{}} } .TXT 4 -66 0 0 C a310,584,43 {\rtf1\ansi \deff1 {\fonttbl {\f0\fnil Arial Cyr;} {\f1\fnil Times New Roman Cyr;} } {\plain {}{’олйина Si-мембранл ренвгеноиабло на:}{}} } .EQN 0 52 0 0 h.Si:2*(10)^(-4) .TXT 0 14 0 0 C a17,240,9 {\rtf1\ansi \deff1 {\fonttbl {\f0\fnil Arial Cyr;} {\f1\fnil Times New Roman Cyr;} } {\plain {}{см}{}} } .TXT 4 -66 0 0 C a249,584,39 {\rtf1\ansi \deff1 {\fonttbl {\f0\fnil Arial Cyr;} {\f1\fnil Times New Roman Cyr;} } {\plain {}{’олйина маскиргойего слоп из Au:}{}} } .EQN 0 53 0 0 h.Au:(10)^(-4) .TXT 0 13 0 0 C a17,240,9 {\rtf1\ansi \deff1 {\fonttbl {\f0\fnil Arial Cyr;} {\f1\fnil Times New Roman Cyr;} } {\plain {}{см}{}} } .TXT 5 -66 0 0 C b32000,584,96 {\rtf1\ansi \deff1 {\fonttbl {\f0\fnil Arial Cyr;} {\f1\fnil Times New Roman Cyr;} } {\plain {}{ }{}{\f1 \fs24 \b \i \ul ђасзев опвизе ские еаракверисвик.}{}} } .TXT 5 0 0 0 C a214,584,34 {\rtf1\ansi \deff1 {\fonttbl {\f0\fnil Arial Cyr;} {\f1\fnil Times New Roman Cyr;} } {\plain {}{Љривизескап длина волнл ‘€:}{}} } .EQN 0 35 0 0 {3}l.00:(18.6)/((E)^(2)*B) .TXT 6 -35 0 0 C b32000,584,19 {\rtf1\ansi \deff1 {\fonttbl {\f0\fnil Arial Cyr;} {\f1\fnil Times New Roman Cyr;} } {\plain {}{Њойносвм ‘€:}{}} } .EQN 9 0 0 0 P({3}l):0.3253*{3}p*((E)^(4)*B)/((L)^(2)*exp(({3}l.00)/({3}l)))*((({3}l.00)/({3}l)))^(2)*((1+(7*(({3}l.00)/({3}l)+2))/(36*((({3}l.00)/({3}l)+1.45))^(2)-44.39)))^(2) .TXT 11 0 0 0 C b32000,584,79 {\rtf1\ansi \deff1 {\fonttbl {\f0\fnil Arial Cyr;} {\f1\fnil Times New Roman Cyr;} } {\plain {}{Љонддижиенвл ослабленип ‘€, при проеождении зерез мавериалл: Be, Si, Au.}{}} } .EQN 5 0 0 0 K.Be({3}l):exp(-h.Be*if(log({3}l)<0.9,0.5*({3}l)^(3.055),0.61*({3}l)^(2.973))) .EQN 5 0 0 0 K.Si({3}l):exp(-h.Si*if(log({3}l)<0.83,45.88*({3}l)^(2.774),4.225*({3}l)^(2.693))) .EQN 5 0 0 0 K.Au({3}l):exp(-h.Au*if(log({3}l)<0.75,3536*({3}l)^(1.73),1353*({3}l)^(2.51))) .TXT 6 0 0 0 C b32000,584,123 {\rtf1\ansi \deff1 {\fonttbl {\f0\fnil Arial Cyr;} {\f1\fnil Times New Roman Cyr;} } {\plain {}{ђасзев зназений длин волн, при коворле мойносвм ‘€ максималмна\par (}{}{\f1 \fs24 \b0 \i \ul приближенле зназенип}{}{):}{}} } .TXT 6 6 0 0 C a157,536,19 {\rtf1\ansi \deff1 {\fonttbl {\f0\fnil Arial Cyr;} {\f1\fnil Times New Roman Cyr;} } {\plain {}{- исеодного:}{}} } .EQN 0 30 0 0 {3}l.0:0.5*{3}l.00 .TXT 4 -30 0 0 C a282,536,34 {\rtf1\ansi \deff1 {\fonttbl {\f0\fnil Arial Cyr;} {\f1\fnil Times New Roman Cyr;} } {\plain {}{- проиедиего зерез Be и Si:}{}} } .EQN 0 30 0 0 {3}l.1:3.2 .TXT 4 -30 0 0 C a219,536,38 {\rtf1\ansi \deff1 {\fonttbl {\f0\fnil Arial Cyr;} {\f1\fnil Times New Roman Cyr;} } {\plain {}{- проиедиего зерез Be, Si и Au:}{}} } .EQN 0 30 0 0 {3}l.2:2.3 .EQN 4 -36 0 0 Given .EQN 2 28 0 0 {3}l.0"P({3}l.0)з0 .TXT 4 18 0 0 C a145,216,40 {\rtf1\ansi \deff1 {\fonttbl {\f0\fnil Arial Cyr;} {\f1\fnil Times New Roman Cyr;} } {\plain {}{Ѓлок\par диддеренжиалмнле\par гравнений}{}} } .EQN 3 -37 0 0 {3}l.1"(P({3}l.1)*K.Be({3}l.1)*K.Si({3}l.1))з0 .EQN 7 -9 0 0 {3}l.2"(P({3}l.2)*K.Be({3}l.2)*K.Si({3}l.2)*K.Au({3}l.2))з0 .TXT 4 0 0 0 C x1,1,0,0 .TXT 7 2 0 0 C a329,584,111 {\rtf1\ansi \deff1 {\fonttbl {\f0\fnil Arial Cyr;} {\f1\fnil Times New Roman Cyr;} } {\plain {}{Ќаеождение }{}{\f1 \fs24 \b0 \i \ul вознле зназений}{}{ длин волн,\par при коворле мойносвм ‘€ максималмна:}{}} } .EQN 1 41 0 0 ({3,1}ж{3}l.2ж{3}l.1ж{3}l.0):find({3}l.0,{3}l.1,{3}l.2) .TXT 9 -43 0 0 C b32000,584,103 {\rtf1\ansi \deff1 {\fonttbl {\f0\fnil Arial Cyr;} {\f1\fnil Times New Roman Cyr;} } {\plain {”гнкжии }{распределенип мойносви ‘€ после проеожденип зерез мавериалл\par Be, Si и Au сооввевсввенно:}{}} } .EQN 7 13 0 0 Be({3}l):if(K.Be({3}l)<(10)^(-3),P({3}l.0)*(10)^(-4),P({3}l)*K.Be({3}l)) .EQN 5 0 0 0 Si({3}l):if(K.Si({3}l)<(10)^(-3),P({3}l.0)*(10)^(-4),Be({3}l)*K.Si({3}l)) .EQN 5 0 0 0 Au({3}l):if(K.Au({3}l)<(10)^(-3),P({3}l.0)*(10)^(-4),Si({3}l)*K.Au({3}l)) .TXT 5 -13 0 0 C a392,584,57 {\rtf1\ansi \deff1 {\fonttbl {\f0\fnil Arial Cyr;} {\f1\fnil Times New Roman Cyr;} } {\plain {}{€нвервал до кривизеской длинл волнл разбиваевсп на}{}} } .EQN 0 49 0 0 N:500 .TXT 0 8 0 0 C a47,112,13 {\rtf1\ansi \deff1 {\fonttbl {\f0\fnil Arial Cyr;} {\f1\fnil Times New Roman Cyr;} } {\plain {}{возек.}{}} } .TXT 3 -57 0 0 C a413,584,60 {\rtf1\ansi \deff1 {\fonttbl {\f0\fnil Arial Cyr;} {\f1\fnil Times New Roman Cyr;} } {\plain {}{€нвервал после кривизеской дли нл волнл разбиваевсп на}{}} } .EQN 0 52 0 0 n:100 .TXT 0 8 0 0 C a47,112,13 {\rtf1\ansi \deff1 {\fonttbl {\f0\fnil Arial Cyr;} {\f1\fnil Times New Roman Cyr;} } {\plain {}{возек.}{}} } .TXT 3 -60 0 0 C a368,584,55 {\rtf1\ansi \deff1 {\fonttbl {\f0\fnil Arial Cyr;} {\f1\fnil Times New Roman Cyr;} } {\plain {}{ђасзев ведевсп по всемг спеквралм номг инвервалг:}{}} } .EQN 0 47 0 0 z:0;(N+n) .EQN 6 -34 0 0 A:(log({3}l.00))/(N) .EQN 0 21 0 0 B:(log(1000)-log({3}l.00))/(n) .TXT 5 -34 0 0 C b32000,584,61 {\rtf1\ansi \deff1 {\fonttbl {\f0\fnil Arial Cyr;} {\f1\fnil Times New Roman Cyr;} } {\plain {}{Љаждой возке свавивсп в сооввев сввие своп длина волнл:}{}} } .EQN 5 16 0 0 {3}l(z):if(z>N,(10)^(B*(z-N)+log({3}l.00)),(10)^(A*z)) .TXT 5 -16 0 0 C b32000,584,57 {\rtf1\ansi \deff1 {\fonttbl {\f0\fnil Arial Cyr;} {\f1\fnil Times New Roman Cyr;} } {\plain {}{€нвегралмнап мойносвм ‘€ проиедиего зерез Be и Si:}{}} } .EQN 4 11 0 0 P.1:z$(({3}l(z+1)-{3}l(z))*P({3}l(z))*K.Be({3}l(z))*K.Si({3}l(z))) .TXT 7 -11 0 0 C b32000,584,61 {\rtf1\ansi \deff1 {\fonttbl {\f0\fnil Arial Cyr;} {\f1\fnil Times New Roman Cyr;} } {\plain {}{€нвегралмнап мойносвм ‘€ проиедиего зерез Be, Si и Au:}{}} } .EQN 4 5 0 0 P.2:z$(({3}l(z+1)-{3}l(z))*P({3}l(z))*K.Be({3}l(z))*K.Si({3}l(z))*K.Au({3}l(z))) .TXT 8 -5 0 0 C a331,584,48 {\rtf1\ansi \deff1 {\fonttbl {\f0\fnil Arial Cyr;} {\f1\fnil Times New Roman Cyr;} } {\plain {}{Љонврасв по пропгсканио ренвге ноиаблоном:}{}} } .EQN 0 52 0 0 (P.1)/(P.2)=?_n_u_l_l_ .TXT 8 -52 0 0 C a384,584,53 {\rtf1\ansi \deff1 {\fonttbl {\f0\fnil Arial Cyr;} {\f1\fnil Times New Roman Cyr;} } {\plain {}{Љонврасв по поглойенио в ЏЊЊЂ-ре нвгенорезисве:}{}} } .EQN 0 52 0 0 (P.1*({3}l.1)^(3))/(P.2*({3}l.2)^(3))=?_n_u_l_l_ .TXT 5 -52 0 0 C x1,1,0,0 .TXT 9 0 0 0 C b32000,584,104 {\rtf1\ansi \deff1 {\fonttbl {\f0\fnil Arial Cyr;} {\f1\fnil Times New Roman Cyr;} } {\plain {}{ }{}{\f1 \fs24 \b \i \ul аспределение мойносви ‘€ по всемг спеквралмномг инвервалг.}{}} } .EQN 1 0 0 0 P({3}l.0)&P({3}l.0)*(10)^(-3)&P({3}l(z)),Be({3}l(z)),Si({3}l(z)),Au({3}l(z))@1000&1&{3}l(z) 1 0 1 1 0 1 0 0 1 0 0 4 2 0 NO-TRACE-STRING 0 2 1 0 NO-TRACE-STRING 0 1 6 0 NO-TRACE-STRING 0 3 0 0 NO-TRACE-STRING 0 1 4 0 NO-TRACE-STRING 0 2 5 0 NO-TRACE-STRING 0 3 6 0 NO-TRACE-STRING 0 4 0 0 NO-TRACE-STRING 0 1 1 0 NO-TRACE-STRING 0 2 2 0 NO-TRACE-STRING 0 3 3 0 NO-TRACE-STRING 0 4 4 0 NO-TRACE-STRING 0 1 5 0 NO-TRACE-STRING 0 2 6 0 NO-TRACE-STRING 0 3 0 0 NO-TRACE-STRING 0 4 1 0 NO-TRACE-STRING 0 1 62 43 .TXT 62 0 0 0 C b32000,584,105 {\rtf1\ansi \deff1 {\fonttbl {\f0\fnil Arial Cyr;} {\f1\fnil Times New Roman Cyr;} } {\plain {}{ }{}{\f1 \fs24 \b \i \ul ‘пеквр распределенип мой носви в пределае 1 нм.}{}} } .EQN 1 0 0 0 P({3}l.0)&P({3}l.0)*(10)^(-3)&P({3}l(z)),Be({3}l(z)),Si({3}l(z)),Au({3}l(z))@10&1&{3}l(z) 1 0 1 1 0 1 0 0 1 0 0 4 2 0 NO-TRACE-STRING 0 2 1 0 NO-TRACE-STRING 0 1 6 0 NO-TRACE-STRING 0 3 0 0 NO-TRACE-STRING 0 1 4 0 NO-TRACE-STRING 0 2 5 0 NO-TRACE-STRING 0 3 6 0 NO-TRACE-STRING 0 4 0 0 NO-TRACE-STRING 0 1 1 0 NO-TRACE-STRING 0 2 2 0 NO-TRACE-STRING 0 3 3 0 NO-TRACE-STRING 0 4 4 0 NO-TRACE-STRING 0 1 5 0 NO-TRACE-STRING 0 2 6 0 NO-TRACE-STRING 0 3 0 0 NO-TRACE-STRING 0 4 1 0 NO-TRACE-STRING 0 1 62 43 |
|